CS200 MFC是数码产品提供高精度和高可靠性的控制和测量气体质量流量。规范如下:准确性:f.s.焦燕雄±1.0%。(≥35%。f.s.)、±0.35%的f.s. (< 35%);线性:f.s.±0.5%;响应时间:≤0.8秒。
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